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中国MEMS产业盛会重磅来袭！会、展、赛、奖、发布五位一体，鼎力呈现！

发布日期：2020-08-07 15:22 发布人：admin

一、大会简介

作为国内唯一的MEMS行业组织，中国半导体行业协会MEMS分会联合江苏省纳米技术产业创新中心、MEMSRIGHT、中科院纳米所微纳加工平台与集成微系统封装平台、敏芯微电子等国内外MEMS代工厂、平台与机构等，在苏州举办China MEMS中国MEMS制造大会，旨在汇聚全球MEMS制造产业资源，打造MEMS领域品牌会议，加强MEMS设计、研发、加工制造、封装测试等全产业链联动关系，促进以MEMS制造为主线的产业资源垂直整合，推动我国MEMS产业领域的人才集聚、技术创新、成果转化，加速突破我国MEMS制造领域发展瓶颈。

二、大会名称

2020中国MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展览会

同期举办：中国MEMS创业大赛
三、大会主题
MEMS全球市场与产业链布局

MEMS全球晶圆代工产业格局与发展趋势

MEMS先进晶圆封装测试市场发展方向

MEMS在智能终端的应用前景与发展方向

展览范围

MEMS 器件

光学MEMS；射频MEMS ；MEMS物理传感器 (加速传感器，速率传感器，压力传感器，气体传感器，温度传感器)；微射流（微流引导，微感应器等）；MEMS执行器；MEMS电能（燃料电池，微发电机等）；高复合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化)。

MEMS 代工服务

仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀。

MEMS 应用

超微型机械人装置、微型工厂等；传感器网络；能量收集。

MEMS 加工设备

薄膜成形（汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；曝光系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片/导线焊接；封装；微成形 (注射, 热压)；其他生产设备。

分析与检测仪器

光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统。

纳米机械微制程技术

超精度纳米机械工艺；超精密加工, 微制造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚焦离子束系统；微放电加工；超声波设备等。

纳米压印技术

微纳米模型；纳米压印生产设备。

生物技术与医疗应用

MEMS在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA & RNA 技术、微反应器、微流引导、生物/化学MEMS（DNA/RNA技术，化学检测）等。

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